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W.D.   :70mm

Sqew     :± 1.0deg(± 60min)

stroke     :± 1mm(分解能:1µm

distance  :±700µm

OUT signal  :digital & analog

Digital  :10KHz ( USB出力のみ対応 )

Analog  :10KHz

Size    :Sensor<W180mm×D180mm×H85mm>

              ※突起物含まず

      

■ 光学センサー

 

■ 電源ケーブル

 

■ OIS

 

■ CCM(OIS)

ストローク&スキュー光学センサ

2本のレーザーを使用して、傾きとストローク及び移動量を同時に測定する光学センサーです。

傾きと移動量計測は、落射光を使用しています。また、ストローク測定は、反射光を使用して同時計測が可能です。

本体に処理系を内蔵しました。本体よりアナログ信号(BNC端子)及びデジタル信号(RS-232C及びUSB)を出力します。

また、本体に表示器を用意しました。設置時は、本体の表示を見ながら、位置調整が出来ます。

 

3軸センサに変位計を2台追加して5軸測定を提案していたこともありましたが、これからは、この1台で5軸測手が可能です。

ストローク/傾き/移動量測定光学センサ

概 略 仕 様

構 成

測 定 対 象

カタログダウンロード

FD-1067

OIS用光学センサ